江西省鼎躍招標(biāo)咨詢有限公司受南昌大學(xué)的委托，就南昌大學(xué)國(guó)家硅基LED工程技術(shù)研究中心雙軸晶圓減薄機(jī)與800千瓦雙頭螺桿機(jī)制冷機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目(采購(gòu)編號(hào)：JXDY2018-C0047)進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)性磋商采購(gòu), 歡迎符合資格條件的供應(yīng)商參加磋商。
一、 項(xiàng)目名稱：南昌大學(xué)國(guó)家硅基LED工程技術(shù)研究中心雙軸晶圓減薄機(jī)與800千瓦雙頭螺桿機(jī)制冷機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目
二、 采購(gòu)編號(hào)：JXDY2018-C0047
三、 采購(gòu)項(xiàng)目?jī)?nèi)容、數(shù)量及清單：
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采購(gòu)條目編號(hào) |
采購(gòu)條目名稱 |
數(shù)量
（單位） |
預(yù)算金額
（人民幣/元） |
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贛購(gòu)2018F000076068 |
科研 雙軸晶圓減薄機(jī) |
1臺(tái) |
1600000.00 |
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贛購(gòu)2018F000073343 |
科研 800千瓦雙頭螺桿機(jī)制冷機(jī) |
1臺(tái) |
580000.00 |
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預(yù)算金額合計(jì) |
2180000.00 |
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設(shè)備采購(gòu)清單及簡(jiǎn)要技術(shù)說(shuō)明 |
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序號(hào) |
設(shè)備名稱 |
數(shù)量 |
簡(jiǎn)要技術(shù)需求 |
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1 |
科研 雙軸晶圓減薄機(jī) |
1臺(tái) |
一、 設(shè)備名稱及用途
1.名稱：雙軸晶圓減薄機(jī)；
2.設(shè)備主要用于2"、4"、6"硅晶圓或其它硬脆材料的薄化處理工藝。
二、 加工質(zhì)量要求（6"）
1.厚度變化量TTV≤3um；
2.不同片之間厚度變化量WTW≤±3um；
4.表面無(wú)減薄損傷，燒傷，異常，沾污，破壞等情況；
5.邊緣無(wú)崩邊破損現(xiàn)象。
三、 主要技術(shù)指標(biāo)和設(shè)備結(jié)構(gòu)性能要求
1技術(shù)要求：
1.1.設(shè)備能滿足2"、4"、6"圓片產(chǎn)品的磨片要求；
1.2.適合加工厚度:300um-2300um,（1800um以上厚度測(cè)量?jī)x報(bào)警失效）最薄可以加工到150um；
1.3.適合產(chǎn)品類型：缺口和平邊定位的晶圓產(chǎn)品；
1.4.在發(fā)生動(dòng)力異常,操作使用過(guò)程各種可能操作失誤等情況下均能保證產(chǎn)品安全,機(jī)臺(tái)安全和人身安全；
1.5.滿足各部分可以單獨(dú)方便使用或調(diào)試；
1.6.機(jī)臺(tái)要求品種切換時(shí),磨輪更換時(shí)間:＜60Min；各機(jī)械PAD更換調(diào)試時(shí)間＜15Min；
1.7.在1萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室能保證加工質(zhì)量達(dá)到上述加工質(zhì)量要求指標(biāo)要求。
四、 出廠標(biāo)準(zhǔn)配置
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名稱 |
規(guī)格型號(hào) |
單臺(tái)配置數(shù)量 |
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整機(jī)設(shè)備 |
定制型 |
1臺(tái) |
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專用砂輪（承片臺(tái)修正用） |
270# |
1個(gè) |
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粗磨輪 |
800# |
1個(gè) |
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精磨輪 |
2000# |
1個(gè) |
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磨輪修正盤 |
用于磨輪修正 |
1件 |
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設(shè)備維護(hù)工具 |
用于設(shè)備維護(hù) |
1套 |
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說(shuō)明書及技術(shù)圖紙 |
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1套 |
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水環(huán)真空系統(tǒng) |
最大氣量0.86m3/min,極限真空度-0.098MPa, |
1套 |
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空氣過(guò)濾裝置 |
3um，1um，0.1um三級(jí)過(guò)濾 |
1套 |
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清洗油石 |
手持式，用于清洗承片臺(tái) |
1個(gè) |
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2 |
科研 800千瓦雙頭螺桿機(jī)制冷機(jī) |
1臺(tái) |
一．設(shè)備參數(shù)及需求如下：
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采購(gòu)設(shè)備規(guī)格與技術(shù)參數(shù) |
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序號(hào) |
數(shù)量 |
臺(tái) |
1 |
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1 |
單臺(tái)制冷量 |
kW |
1100（±5%） |
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2 |
冷凍水進(jìn)/出水溫度 |
℃ |
12℃/7℃ |
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3 |
冷卻水進(jìn)/出水溫度 |
℃ |
30℃/35℃ |
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4 |
冷凍水量 |
（M^3/h） |
200±10% |
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5 |
冷卻水量 |
（M^3/h） |
220±10% |
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6 |
制冷劑 |
/ |
HFC-134a |
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7 |
使用電源 |
/ |
380V/3Φ/50Hz |
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8 |
機(jī)組輸入功率 |
kW |
185±5% |
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9 |
冷卻水最低運(yùn)行范圍 |
℃ |
≤20 |
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10 |
噪聲值 |
dB(A) |
＜85 |
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11 |
100%負(fù)荷時(shí)COP值 |
kW/ kW |
≥5.8 |
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12 |
NPLV值（ARI工況） |
kW/ kW |
＞6 |
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13 |
冷凍水最高設(shè)置溫度 |
℃ |
≤10 |
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14 |
雙機(jī)頭功率分配范圍 |
% |
15-100無(wú)級(jí)能量調(diào)節(jié) |
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15 |
啟動(dòng)方式 |
/ |
星三角啟動(dòng) |
二、技術(shù)要求
1.機(jī)組能耗必須符合國(guó)家GB標(biāo)準(zhǔn)《冷水機(jī)組能效限定值及能源效率等級(jí)》（GB19577-2004）規(guī)定的節(jié)能評(píng)價(jià)值——能效等級(jí)1級(jí)。
2.整體要求
2.1.冷水機(jī)組應(yīng)為整裝式結(jié)構(gòu)，即在工廠完成機(jī)組的所有制造和性能檢驗(yàn)測(cè)試工作，安裝現(xiàn)場(chǎng)完全不需要再進(jìn)行制冷系統(tǒng)組裝和制冷劑充裝工作；
2.2.機(jī)組主要由制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、潤(rùn)滑系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)、節(jié)流裝置等組成。機(jī)組各零部件的安裝應(yīng)牢固、可靠，制冷壓縮機(jī)應(yīng)有防振動(dòng)措施。機(jī)組運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)無(wú)異常響動(dòng)，管路間或管路與零部件間不應(yīng)有相互摩擦和碰撞；
2.3.機(jī)組的隔熱層應(yīng)有良好的隔熱性能，在正常工作時(shí)表面不應(yīng)有凝露現(xiàn)象；
3.主要部件
3.1.壓縮機(jī)
3.1.1.應(yīng)采用半封閉螺桿式壓縮機(jī)，壓縮機(jī)絕緣等級(jí)不低于F級(jí)，電機(jī)密封保護(hù)等級(jí)不低于IP54。壓縮機(jī)的螺桿、軸承必須為進(jìn)口，且運(yùn)行壽命不小于10萬(wàn)小時(shí)；
3.1.2.每臺(tái)機(jī)組的制冷量應(yīng)能在一定范圍內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，雙機(jī)頭機(jī)組不低于15%-100%無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)范圍；
3.1.3.潤(rùn)滑油采用壓差供油方式，無(wú)需油泵，多壓縮機(jī)之間無(wú)需油平衡管路。
3.2.蒸發(fā)器、冷凝器
3.2.1.蒸發(fā)器應(yīng)采用滿液式，冷凝器采用殼管式，冷凝器和蒸發(fā)器與冷水機(jī)組應(yīng)為同品牌，外殼采用優(yōu)質(zhì)碳鋼板制造，內(nèi)銅管均應(yīng)采用優(yōu)質(zhì)無(wú)縫紫銅管。蒸發(fā)器內(nèi)應(yīng)有防液態(tài)冷媒流向壓縮機(jī)的裝置。冷凝器和蒸發(fā)器必須由國(guó)家認(rèn)可資質(zhì)的質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門出具的壓力容器使用證和特種設(shè)備檢查檢驗(yàn)部門出具的安全檢驗(yàn)合格證。蒸發(fā)器的制作及試驗(yàn)應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。冷凝器和蒸發(fā)器制成后，應(yīng)經(jīng)過(guò)氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)和氦質(zhì)譜泄漏試驗(yàn)，確保換熱器的強(qiáng)度和密封性。冷卻水和冷凍水進(jìn)出水管帶中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)卡箍或法蘭。接管可按施工圖示方向現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整。
3.2.2.機(jī)組水系統(tǒng)承壓：冷凝器不應(yīng)低于1.0MPa，蒸發(fā)器不應(yīng)低于1.0MPa。 |
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產(chǎn)地類型：國(guó)產(chǎn)。
一、 供應(yīng)商資格標(biāo)準(zhǔn)和要求：
1）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；
2）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；
3）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
4）具有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；
5）參加政府采購(gòu)活動(dòng)前三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒有重大違法記錄；
6）法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件：供應(yīng)商未被“信用中國(guó)”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的和未被“中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的）。
二、 供應(yīng)商其他要求：不接受聯(lián)合體方式參與本項(xiàng)目。
三、 獲取磋商文件時(shí)間和地址：有意向的供應(yīng)商可從2018年11月7日起至2018年11月13日(節(jié)假日除外)09:00～12:00，14:30～17:00 (北京時(shí)間)在江西省鼎躍招標(biāo)咨詢有限公司（江西省南昌市撫河北路117號(hào)人民日?qǐng)?bào)大廈13樓）獲取競(jìng)爭(zhēng)性磋商文件（磋商文件每份200元人民幣，售后不退，購(gòu)買磋商文件時(shí)須提供單位介紹信或法人授權(quán)委托書原件）。
四、 磋商地址：江西省鼎躍招標(biāo)咨詢有限公司（南昌市撫河北路117號(hào)人民日?qǐng)?bào)大廈13樓）。
五、 遞交首次磋商響應(yīng)文件的截止時(shí)間和磋商時(shí)間：2018年11月19日9:30時(shí)（北京時(shí)間）。
六、 代理服務(wù)費(fèi)：由成交供應(yīng)商支付，詳見磋商文件“供應(yīng)商須知”。
七、 聯(lián)系方式
1）采購(gòu)單位：南昌大學(xué)
地址：學(xué)府大道999號(hào)南昌大學(xué)前湖校區(qū)
聯(lián)系電話：0791-83969364
2）采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)：江西省鼎躍招標(biāo)咨詢有限公司
地址：江西省南昌市撫河北路117號(hào)人民日?qǐng)?bào)大廈12-13樓
聯(lián)系人：余啟凡、劉霞
聯(lián)系電話：0791-87915291
電子郵箱：574514725@qq.com
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